STACIS 4主動(dòng)隔振系統(tǒng)
- 型 號(hào)：STACIS 4
- 名 稱：STACIS 4主動(dòng)隔振系統(tǒng)
- 英文名稱：
- 品 牌：TMC
- 發(fā)布時(shí)間：2017/5/15 16:31:52
- 咨詢熱線：0532-80982936
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產(chǎn)品詳情
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下載中心
起初STACIS是為半導(dǎo)體工廠的精密光刻機(jī)，計(jì)量?jī)x和檢測(cè)設(shè)備而設(shè)計(jì)，如今是嘈雜環(huán)境中z敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)隔振解決方案，包括但不限于故障分析，納米技術(shù)研究，納米制造，結(jié)構(gòu)生物學(xué)和材料研究等應(yīng)用。
STACIS 4包括新改進(jìn)的，低噪聲的數(shù)字控制器，DC-2020帶有雙核處理器。這種新的控制系統(tǒng)為使用者提供了一個(gè)易用的圖形用戶界面(GUI)。
STACIS 4建立在前幾代的成功架構(gòu)上，增加了先進(jìn)的控制算法和新的專有技術(shù)。以前無法實(shí)現(xiàn)對(duì)建筑物地面所有頻率的振動(dòng)消除，但特別是10Hz以下的振動(dòng)，對(duì)高分辨率成像和計(jì)量來說*敏感的。當(dāng)與FloorSense?技術(shù)相結(jié)合時(shí)，STACIS 4在2Hz時(shí)可減少60 dB的建筑物地面振動(dòng)，在1Hz時(shí)可減少27dB。
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：
STACIS 4相比于氣浮支腿更加堅(jiān)固可靠，且不存在氣浮隔振系統(tǒng)離不開氣源的局限性。它無氣浮支撐，并且與主動(dòng)的氣浮系統(tǒng)不同。STACIS 4可以放置在具有內(nèi)部主動(dòng)空氣隔離系統(tǒng)的設(shè)備下面，且兩個(gè)隔振系統(tǒng)相互兼容。
獨(dú)特的串聯(lián)設(shè)計(jì)和專有的壓電技術(shù)所產(chǎn)生0.2 Hz至150 Hz的寬帶隔離，在2Hz時(shí)可減少99.9%的振動(dòng)。
比STACIS III更好的振動(dòng)控制，與行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案相比，STACIS 4將2 Hz的振動(dòng)控制提高了60 dB以上。
穩(wěn)定的串聯(lián)設(shè)計(jì)允許使得您安裝后即可，無需再次安裝調(diào)試，不像并行式設(shè)計(jì)本質(zhì)上是不穩(wěn)定的，需要頻繁調(diào)整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允許兩級(jí)振動(dòng)控制設(shè)計(jì)，可以在STACIS III系統(tǒng)之上結(jié)合被動(dòng)或主動(dòng)的平行平臺(tái)。隨著對(duì)儀器的振動(dòng)分辨率的要求越來越高，兩級(jí)設(shè)計(jì)正變得越來越普遍。
STACIS 4的性能相當(dāng)于在穩(wěn)定的地面上減少5個(gè)VC曲線的振動(dòng)。這種性能使用戶能夠靈活地在不理想的振動(dòng)環(huán)境中安裝儀器，從而在設(shè)施布局和設(shè)計(jì)方面具有更大的適配性。
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產(chǎn)品分類
RODUCT CLASS激光器
激光控制與光學(xué)測(cè)量相關(guān)儀器
量子級(jí)聯(lián)激光器及中紅外光譜儀器
窄線寬可調(diào)諧激光器及相關(guān)控制儀器
飛秒激光器及相關(guān)儀器
光纖光譜儀及解決方案
運(yùn)動(dòng)及振動(dòng)控制
- 光機(jī)械組合產(chǎn)品
- 主動(dòng)隔振系統(tǒng)
- 被動(dòng)隔振系統(tǒng)
- 壓電/氣浮綜合性主動(dòng)隔振系統(tǒng)
- 隔磁系統(tǒng)
- 平臺(tái)附件--法拉第屏蔽罩
- 環(huán)境測(cè)試服務(wù)
Edmund Optics公司產(chǎn)品
- 光學(xué)件
- 鏡頭
- 顯微鏡
- 機(jī)械件和光機(jī)設(shè)備
- 激光器和激光器附件
- 相機(jī)
- 實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)線用品
- 測(cè)試和測(cè)試標(biāo)板
- 照明
激光染料/激光護(hù)目鏡
焊接產(chǎn)品
Thorlabs產(chǎn)品
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